高功率激光光學(xué)元件檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室主要從事批量高精密高功率激光光學(xué)元件的檢測(cè),并進(jìn)行相關(guān)檢測(cè)技術(shù)方法與標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范研究。實(shí)驗(yàn)室配置有24”ZYGO干涉儀、12” ZYGO干涉儀、4D PhaseCam動(dòng)態(tài)干涉儀、Zygo DynaFiz動(dòng)態(tài)干涉儀、4D高分辨率干涉儀(2.4K×2.4K)、ZYGO 便攜式輪廓儀等高精度測(cè)量?jī)x器,并通過上海市儀器平臺(tái)長(zhǎng)期提供對(duì)外檢測(cè)服務(wù)。實(shí)驗(yàn)室擅長(zhǎng)大尺寸光學(xué)元件的檢測(cè),針對(duì)高功率激光光學(xué)元件的檢測(cè)發(fā)展了消應(yīng)力支撐大尺寸光學(xué)元件檢測(cè)技術(shù)、長(zhǎng)焦距透鏡的檢測(cè)技術(shù)、特殊非球面的檢測(cè)技術(shù)、中頻波紋度檢測(cè)技術(shù)等,并參與了干涉儀相關(guān)檢測(cè)方法的國軍標(biāo)編制。