1B3-X射線光刻實驗站位于13號廳,由1B3 彎鐵引出,可通過調(diào)節(jié)反射鏡系統(tǒng),實現(xiàn)反射
光和直通光兩條光路,分別進(jìn)行適合亞微米線條寬度的納米光刻和適合大于1 毫米厚度的X
射線深度光刻。