低溫強(qiáng)磁場(chǎng)電子波譜學(xué)實(shí)驗(yàn)站將低溫強(qiáng)磁場(chǎng)等極端條件與波譜學(xué)、量子輸運(yùn)等測(cè)量手段成功整合起來(lái),構(gòu)成了極具特色的綜合測(cè)量系統(tǒng),可用于開(kāi)展低溫強(qiáng)磁場(chǎng)下量子材料的奇異物性、拓?fù)湮飸B(tài)研究以及量子器件的量子調(diào)控研究。低溫強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境主要由配備超導(dǎo)磁體(20 T和9 T/3 T/1 T)的兩臺(tái)自研的3He制冷機(jī)提供。另有一臺(tái)SM4000 Spectromag磁體光學(xué)杜瓦單元為用戶(hù)提供在較高的溫度(2-300 K)和較低的磁場(chǎng)(10 T)下開(kāi)展樣品的挑選或其他預(yù)研工作。波譜學(xué)測(cè)量設(shè)備主要由紅外傅立葉光譜儀(8000 cm-1)、毫米波矢量分析儀(10 MHz -100 GHz)、微波頻譜分析儀(3 Hz -75 GHz)和微波信號(hào)發(fā)生器(250 kHz - 67 GHz)構(gòu)成。電學(xué)弱信號(hào)測(cè)量設(shè)備由多臺(tái)鎖相放大器、各種前置放大器、低噪聲精密源表等構(gòu)成。通過(guò)多重電磁屏蔽與接地處理,整個(gè)實(shí)驗(yàn)站測(cè)量噪聲水平低于10 nV。
實(shí)驗(yàn)站主要提供如下三種測(cè)量模式:量子輸運(yùn)測(cè)量、波譜學(xué)測(cè)量(包括微波,紅外等) 、波譜學(xué)+量子輸運(yùn)測(cè)量。
本實(shí)驗(yàn)站的低頻電學(xué)測(cè)量接口按以下兩種標(biāo)準(zhǔn)提供:
1.16 Pin 標(biāo)準(zhǔn)IC測(cè)量座。可使用銀膠或邦定引線(xiàn)。
2.24 Pin 定制測(cè)量座。可使用銀膠或邦定引線(xiàn)。
手套箱互聯(lián)敏感樣品制備系統(tǒng)
手套箱互聯(lián)敏感樣品制備系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)低維敏感材料的全流程制備,以滿(mǎn)足范德瓦爾斯復(fù)合器件和轉(zhuǎn)角電子學(xué)器件的全程無(wú)水氧污染轉(zhuǎn)移、鍍膜,使樣品能展現(xiàn)非常優(yōu)異的性能,比如高遷移率、良好歐姆接觸等,為進(jìn)一步研究低維拓?fù)淞孔游飸B(tài)提供更有利的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。該系統(tǒng)可提供樣品清洗、轉(zhuǎn)移、蒸鍍、引線(xiàn)、探測(cè)等手段,包括以下組成設(shè)備:
1號(hào)箱體:甩膠顯影
內(nèi)部設(shè)備:勻膠機(jī),烘烤臺(tái)。
2號(hào)箱體:清洗鍍膜
連通設(shè)備:沈陽(yáng)科誠(chéng)鍍膜儀(背后),臺(tái)灣JEB鍍膜儀(側(cè)面),內(nèi)部設(shè)備:等離子清洗機(jī)。
3號(hào)箱體:樣品轉(zhuǎn)移制備
內(nèi)部設(shè)備:奧林巴斯顯微鏡(目視),蔡司顯微鏡(全自動(dòng)),邁塔光電電控轉(zhuǎn)移臺(tái)。
4號(hào)箱體:預(yù)處理、鍵合及測(cè)量
內(nèi)部設(shè)備:臭氧清洗機(jī),westbond鍵合機(jī),探針臺(tái)。
李老師,郵箱:cioran@iphy.ac.cn